簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Yih-Lin Cheng".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="化學機械平坦化"


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    拋光墊之修整力量分析與銅膜晶圓化學機械拋光影響研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 許仕忠   指導教授： 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化/拋光(Chemical Mechanical Planarization/ Polishing, CMP)製程中，需要鑽石修整器來維持拋光墊表面之穩定性，而拋光墊表面形貌會直接影響…
    • 點閱：232  下載：1 

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    微細發泡射出成形於拋光墊製造及化學機械平坦化應用研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 李怡萱   指導教授： 陳炤彰
    • 本研究主要為結合超臨界微細發泡射出成形技術(Microcellular Injection Molding, MIM)與化學機械平坦化製程(Chemical Mechanical Planariza…
    • 點閱：305  下載：23 
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